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“碳化硅功率器件及其封裝技術 I”分會上,加拿大多倫多大學電氣與計算機工程系教授吳偉東做了“SiC 功率 MOSFET老化檢測智能柵極驅動器”的主題報告,分享了相關研究進展。

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“碳化硅功率器件及其封裝技術 I”分會上,專家們齊聚,共同探討碳化硅功率器件及其封裝技術的發展。

期間,“碳化硅襯底、外延生長及其相關設備技術”分會上,中微半導體設備(上海)股份有限公司工藝主任工程師陳丹瑩做了“PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長的CVD設備”的主題報告,分享了基于CFD模擬的SiC刀具設計優化、AMEC PRISMO PDS8 SiC外延工藝結果等內容。

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