?7月11日，凝聚“芯”動能，共筑“芯”高地——廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，二期產業(yè)孵化區(qū)正式封頂，一批半導體項目現(xiàn)場簽約，為灣區(qū)半導體產業(yè)發(fā)展注入“芯”動能。

中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強，廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰，佛山市副市長陳新文，南海區(qū)委副書記、區(qū)長王勇，佛山高新區(qū)黨工委副書記、管委會主任胡學駿及市區(qū)相關部門，合作高校、院所、企業(yè)代表超180人參會。

中試平臺通線，一批項目簽約為灣區(qū)半導體產業(yè)發(fā)展注入“芯”動能

廣東微納院是由佛山市、南海區(qū)兩級政府共同建設，中國科學院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業(yè)單位，建設半導體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試平臺，為佛山市半導體產業(yè)強鏈延鏈、大灣區(qū)“芯”動能高質量發(fā)展提供技術平臺支撐。

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廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線儀式

據(jù)介紹，平臺具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力，其中晶圓加工產能為8吋5000片/月，材料外延生長總產能為4吋4000片/月。活動當天，廣東微納院與蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所簽訂中試合作協(xié)議。

“希望廣東微納院繼續(xù)加強科研攻關和中試平臺工藝能力建設，努力實現(xiàn)引領性原創(chuàng)性技術突破，加快重大科技成果高效轉化和迭代應用，探索建立科技創(chuàng)新和產業(yè)創(chuàng)新互促互強的半導體向‘新’生態(tài)。”中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強表示。

自廣東微納院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業(yè)提供技術服務和人才輸出，獲得了業(yè)屆的廣泛認可，成為廣東半導體產業(yè)的重要支撐平臺之一。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰表示，中試平臺是連接實驗室與產業(yè)界的橋梁，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揚創(chuàng)新引領精神，不斷提升產業(yè)輻射策源能力，為廣東省和大灣區(qū)半導體產業(yè)的蓬勃發(fā)展注入新動能。?

產業(yè)園建設提速 ?打造半導體產業(yè)集聚強磁場

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產業(yè)孵化區(qū)，建設6萬㎡專業(yè)化半導體產業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術驅動型主題園區(qū)。現(xiàn)場舉行了簡單而隆重的封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

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二期產業(yè)孵化區(qū)封頂儀式

會上，廣東微納院副院長王暉介紹半導體產業(yè)園規(guī)劃與建設情況。“當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導體產業(yè)相關設備，引進培育一批半導體上下游產業(yè)企業(yè)，打造成半導體全鏈條產業(yè)服務平臺?！蓖鯐煴硎?，在地方政府的支持規(guī)劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業(yè)落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區(qū)最適合發(fā)展半導體產業(yè)的集聚區(qū)域。未來，廣東微納院將不斷擴展產業(yè)版圖，打造成為具有全國影響力的集產業(yè)孵化、人才培養(yǎng)、芯片制造等要素的科創(chuàng)平臺。

佛山市副市長陳新文表示，作為市首批中試平臺授牌單位之一，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揮引領龍頭作用，深化半導體中試平臺+產業(yè)孵化育成的創(chuàng)新模式，為企業(yè)解決技術瓶頸和難題，推動半導體產業(yè)向更高層次、更廣領域發(fā)展。

此外，廣東微納院與華南師范大學工學部還舉行了合作簽約儀式，并與廣東綠展科技有限公司、廣東匯芯半導體有限公司、廣東鴻浩半導體設備有限公司等三家企業(yè)分別達成產學研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，加速人才鏈、創(chuàng)新鏈和產業(yè)鏈的深度融合，實現(xiàn)科技與產業(yè)雙向奔赴。

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